Okres ostatnich pięćdziesięciu lat zaznaczył się burzliwym rozwojem badań nad otrzymywaniem, właściwościami i zastosowaniem naniomateriałów. Terminem tym określamy materiały o grubościach wynoszących od kilkunastu do kilkuset nanometrów, które tworzą struktury pośrednie między strukturą atomową a materiałami litymi. Właściwości fizykochemiczne nanomateriałów, które są odmienne zarówno dla warstw atomowych, jak i materiałów litych, przyczyniły się do ich szerokiego zastosowania w mikroelektronice, optyce, optoelektronice jako nanostrukturalnych powłok ochronnych czy też nowoczesnych materiałów wysokoenergetycznych. Odrębnym zagadnieniem są badania aktywności katalitycznej cienkich1 warstw metalicznych i niemetalicznych oraz ich wykorzystanie w procesach katalitycznych lub foto-katalitycznych. Nanomateriały mogą być wytwarzane różnymi metodami, w których istotną rolę odgrywają zarówno procesy fizyczne, jak i chemiczne. Przykładami są: chemiczne trawienie kryształów, rozpylanie katodowe, naparowywanie próżniowe, rozpylanie gazotermiczne, techniki sedymentacyjne, elektrochemiczne, metoda zol-żel, chemiczne osadzanie z roztworów (MOD) czy też chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD). Na szczególną uwagę zasługują techniki CVD, które można zdefiniować jako procesy otrzymywania warstw stałych w wyniku reakcji chemicznych, jakim ulegają związki chemiczne transportowane w fazie gazowej na powierzchni podłoża.